福州匠人罗明浩：20年扎根一线，攻克半导体靶材“卡脖子”难题

在福建加快打造东南沿海集成电路产业高地的背景下，一位来自基层的福州籍技术工匠正以双手重塑中国芯的根基。罗明浩，从一名普通电工起步，历时20年潜心攻关，成功实现超高纯溅射靶材全链条国产化——其主导研发的99.9999%高纯铝精炼系统、300余套自主设备及适配国产工况的十亿分之一级检测方案，彻底打破国外长期垄断，为福州乃至全国半导体材料自主可控注入强劲动能。

从福州车间到宁波产线：一位电工的“芯”路突围

2005年，出身福建制造业一线的罗明浩加入宁波江丰电子。彼时，我国在超高纯金属靶材领域几乎零基础：原料依赖进口、设备全部舶来、工艺资料阙如。他坦言：“第一次听到‘靶材’这个词，连发音都拿不准。”正是这位福州成长起来的实干型技师，将电机维修与焊接经验迁移到半导体精密制造场景，开启了国产替代的破冰之旅。

死磕炉温1℃、提纯0.19%：在纳米尺度上重建技术主权

靶材生产对热处理精度要求严苛至极——炉温波动须稳定控制在±1℃以内。为此，罗明浩团队迭代12版设计方案，绘制数百张风道与风机布局图纸，反复优化热场均匀性。更关键的是原料瓶颈：芯片级靶材所需铝锭纯度需达99.9999%，而工业级铝仅99.8%。这0.19%的差距，直接导致进口成本飙升数十倍。

2011年起，他在厂区辟出独立精炼铸造室，带领团队攻坚高纯铝提纯。历经四年试验，于2015年建成国内首套稳定运行的高纯铝精炼铸造系统，终结了该环节的海外依赖。

让洋仪器“说中文”：破解高端检测“水土不服”困局

为实现十亿分之一级微量元素检测，企业引进进口大型分析仪，却频频报错、维修周期长达数月，每次均需重金聘请外方工程师。罗明浩不信邪：“设备是死的，人是活的！”他在检测室连续驻守半年，逐项校准环境参数、重构数据模型，最终使该仪器完全适配中国产线温湿度、电网波动等实际工况，检测稳定性与精度双双达到国际一流水准。

从“门外汉”到“罗大师”：一双机油手托起福建智造底气

如今，由罗明浩主持设计的超大规模集成电路靶材生产线，已批量供应全球头部晶圆厂先进制程。他自主研发的300多套国产化装备，累计为企业降本逾亿元；所带教的青年技术骨干，正活跃在福州高新区、厦门半导体产业园等福建重点平台。在他看来，自主创新不是百米冲刺，而是代代接力的马拉松——老师傅的口诀经验，正与90后工程师的数字孪生建模能力深度融合，持续拉升材料良率与一致性。

薪火不熄：为福建半导体产业链筑牢材料底座

从原材料提纯、靶材成型到高精度检测，罗明浩构建起覆盖全工艺环节的技术脱困链。这一实践，不仅填补了多项国家空白，更显著增强了福建在集成电路关键材料领域的区域支撑能力。当前，他正将经验体系化输出，助力福州本地职业院校共建半导体材料实训基地，推动“福建制造”向“福建智造”纵深跃升。

当一枚指甲盖大小的芯片承载着万米级金属布线，罗明浩用二十年光阴证明：真正的科技自立，始于车间里的每一次温度校准、每一克金属提纯、每一组数据调优。你认为，在福建加速建设现代化产业体系进程中，靶材国产化对本土晶圆厂降本增效的关键作用体现在哪些环节？欢迎留言探讨。